G-25XA型高精密光刻機

設備概述:

本設備是我公司專(zhuān)門(mén)針對各大專(zhuān)院校及科研單位對光刻機的使用特性研發(fā)的一種精密光刻機，它主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn)。

主要構成
主要由高精度對準工作臺、雙目分離視場(chǎng)CCD顯微顯示系統、GCQ350Z型高壓水銀直流汞、氣動(dòng)系統、真空管路系統、直聯(lián)式真空泵、防震工作臺和附件箱等組成。<span style="font-family:" font-weight:normal;"="">

多點(diǎn)光源（蠅眼）
可調光強的光欄

三點(diǎn)找平機構
高精度X、Y、Z、Q調節機構

主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣
  適用于Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準曝光。
  2.結構穩定
  具有氣浮式找平機構和可實(shí)現真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著(zhù)機構；具有真空掩膜版架、真空片吸盤(pán)。
  3.操作簡(jiǎn)便
  采用翻板方式取片、放片；按鈕、按鍵方式操作，可實(shí)現真空吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能，操作、調試、維護、修理都非常簡(jiǎn)便。
  4.可靠性高
  采用進(jìn)口（日本產(chǎn)）電磁閥、按鈕、定時(shí)器；采用獨特的氣動(dòng)系統、真空管路系統和精密的機械零件，使本機運行具有非常高的可靠性。
  5.特設功能
  除標準承片臺外，還可以為用戶(hù)定制專(zhuān)用承片臺，來(lái)解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開(kāi)所引起的版片無(wú)法對準的問(wèn)題

主要技術(shù)指標

1、設備能真空吸附5"×5"方形掩板,對版的厚度無(wú)特殊要求。

2、設備能適用于Φ100mm圓形基片（或100×100mm方形基片），基片厚度≤5mm,當您的基片厚度≤1mm時(shí)，我公司為本機配置標準承片臺（不另計費），當基片厚度＞1mm時(shí)，設備需配置專(zhuān)用承片臺（訂貨時(shí)用戶(hù)須說(shuō)明，費用另議）。

3、照明：

光源：GCQ350Z型高壓水銀直流汞。

照明范圍：≤ф117mm曝光面積：Φ100mm

在Φ100mm范圍內,曝光不均勻性≤±4%，曝光強度：≥5mw/cm2（此指標用紫外光源I線(xiàn)365nm測量）。

4、本設備采用進(jìn)口時(shí)間繼電器控制氣動(dòng)快門(mén)，動(dòng)作準確、可靠。

5、本機為接觸式曝光機，可實(shí)現：

（1）硬接觸曝光：用管道真空來(lái)獲得高真空接觸，真空≤-0.05MPa。

（2）軟接觸曝光：接觸壓力可將真空降到-0.02MPa～-0.05MPa之間。

（3）微力接觸曝光：小于軟接觸，真空≥-0.02MPa。

6.曝光分辯率：本設備硬接觸曝光的分辨度可達2μm以上。

7.對準：觀(guān)察系統為兩個(gè)單筒顯微鏡上裝二個(gè)CCD攝像頭，通過(guò)視屏線(xiàn)連接到顯視屏上。

成都鑫南光機械設備有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事四川真空泵,四川光刻機,四川氫氣爐生產(chǎn)及銷(xiāo)售批發(fā)工作的企業(yè),咨詢(xún)電話(huà):13908187709,028-85730519,擁有技術(shù)裝備和獨特的設計,具有豐富的專(zhuān)用設備裝配調試技術(shù)和經(jīng)驗。