四川光刻機之G-25XA型高精密光刻機的產(chǎn)品介紹：

一、 設備的主要用途及特點(diǎn)

本設備主要適用于對Φ100mm以下，厚度為5mm以下的各種基片光刻（包括非常規基片、碎片及表面不平整基片）

二、主要技術(shù)指標

1、對準精度：±0.5μm。

2、微動(dòng)臺掃描范圍±20mm，X、Y可調范圍±4mm。

3、承片臺上下可移動(dòng)范圍為5mm，改為旋轉角度≤90°。

4、采用多點(diǎn)光源曝光頭，光源采用GCQ350Z型高壓水銀直流汞，風(fēng)冷，（光強穩定可調，不用頻繁更換汞燈），光的不均勻性≤±4%(Φ100 mm范圍之內) ，出射光束ΦMAX為Φ120mm。

5、采用雙目分離視場(chǎng)顯微鏡，放大倍數50X×375X(可采用雙CCD加液晶監視器來(lái)顯示，放大倍數30～189X或67.5X～420X)。

成都鑫南光機械設備有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事四川真空泵,四川光刻機,四川氫氣爐生產(chǎn)及銷(xiāo)售批發(fā)工作的企業(yè),咨詢(xún)電話(huà):13908187709,028-85730519,擁有專(zhuān) 業(yè)的技術(shù)裝備和獨特的設計,具有豐富的專(zhuān)用設備裝配調試技術(shù)和經(jīng)驗。